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    全自动多臂硅片清洗机

    • 型号QYS-
    • 品牌全一
    • 价格

    全自动硅片清洗机是硅片清洗的一种专业化超声波设备,适用于各种规格的单晶、多晶硅片的清洗,通过多臂机械手输送实现硅片的全自动清洗。

    1. 详细信息

    清洗对象:适用于太阳能、半导体行业的单晶、多晶硅片的清洗;

    清洗介质:纯水、碱性药液;

    传输方式:多臂机械手传输;

    清洗工艺:下超声上料→超声溢流清洗槽1→超声波药液清洗槽2→超声波溢流清洗槽3→超声波药液清洗槽4→超声溢流清洗槽5→超声溢流清洗槽6→慢提拉脱水→热风循环烘干下料

    设备特点:

    1、超声波发生器功率强劲、效率高、运行可靠;

    2、超声波发生器采用它激式电路,配置国际先进的自动扫频电路,功耗低、消除清洗驻波、使清洗更加均匀彻底;

    3、超声溢流清洗槽采用后道向前道溢流的方式,有效节约水资源;

    4、超声药液清洗槽配循环过滤系统,能够保持药液的洁净度;

    5、超声波溢流清洗槽和超声波药液清洗槽均带抛动系统,抛动频率及上下抛动幅度均可调;

    6、设低液位自动保护报警装置,低液位时自动关闭加热和超声,安全系数高;

    7、设备采用多臂机械手传输,运行平稳可靠、承载力大,清洗效率高;

    8、PLC触摸屏等电气控制系统具有过载保护、漏电保护、故障自动报警、联动与互锁等功能;

    9、 整体采用不锈钢材料精工制造,美观大气。设备全封闭结构,避免工作环境污染,洁净环保;



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